Zweiläufige Lampe mit Goldbeschichtung

Thu, 23 Jul 2026 09:34:26 +0800

Kohlenstoffeinsparung in der Halbleiterproduktion durch goldbeschichtete Doppelröhrenlampen
Wenn Sie Ihre Kohlenstoffbilanz in der Halbleiterproduktion verringern möchten, müssen Sie mit der Wärmebeginnen. Meistens ist es genau dort, wo die meisten Energiemengen einfach verschwinden.
Deshalb verwenden wir goldbeschichtete IR-Lampen mit Doppelröhrenkonstruktion. Es handelt sich dabei nicht um gewöhnliche Heizgeräte – vielmehr sind sie Präzisionswerkzeuge, die Energie direkt auf das Substrat richten. So wird keine Zeit und Energie verschwendet, indem man den gesamten Raum erhitzt, nur um das Wafer auf die richtige Temperatur zu bringen.

Doppelrohr Infrarotheizlampe

Sun, 07 Jun 2026 01:34:09 +0800

Auf dem Lithographie-Bereich führt bereits eine Drift von 0,5°C beim Fotoresist-Vorbacken zu einem Ausschuss eines kompletten Carriers, bevor man überhaupt bemerkt, dass etwas passiert ist. Die Hitze muss exakt dort ankommen, wo die Prozesskarte es fordert — jedes einzelne Mal — ohne Partikel zu erzeugen oder Schwankungen einzuführen.

Technisch entscheidend

Die Doppelrohr-Infrarotlampe basiert auf kurzwelligen NIR-Elementen und Quarzkomponenten, die für schnelles, gerichtetes Heizen mit minimaler thermischer Trägheit ausgewählt wurden. Die Kernanforderung ist Temperaturnormalität über die Zielzone: ±0,1°C, gemessen und in einer geschlossenen Regelung konstant gehalten.
Sie ist für Reinraumklassen 1–100 geeignet, mit Materialien und Montageverfahren, die die Partikelentstehung praktisch auf null reduzieren. Im Alltag bedeutet das zuverlässig reproduzierbare Softbake- und Hardbake-Profile — stabil über Schichten, Chargen und sogar mit zunehmendem Alter der Lampe.

Röhre on Infrared Quartz Heating Systems

Zweiläufige Lampe mit Goldbeschichtung

Doppelrohr Infrarotheizlampe

Technisch entscheidend