Heizer zum Trocknen von MEMS Sensor Wafern

Thu, 23 Jul 2026 09:41:55 +0800

Die richtige Trocknung von MEMS-Wafern mit Infrarotstrahlung
Wenn Sie eine intelligente Fertigungsanlage aufbauen, wissen Sie ja: Alles muss durch Daten gesteuert werden. Doch bei der Trocknung von MEMS-Sensorwafern ist die physische Hardware genauso wichtig wie die Software. Deshalb haben wir auf die alten Konvektionsöfen verzichtet und stattdessen auf Kurzwellen-Infrarot-Systeme umgestellt.

Das ist einfach schneller – außerdem verhindert es, dass Chemikalien in die Wafer eindringen und diese beschädigen.

Mit der Wärme umgehen
Das Schwierige bei MEMS-Wafern ist es, die Feuchtigkeit schnell zu entfernen, ohne die Wafer zu belasten. Man kann nicht einfach nur Hitze einwirken lassen und darauf hoffen, dass alles gut geht.

MEMS Herstellung – Infrarotheizer

Sun, 21 Jun 2026 02:41:13 +0800

In der Fertigungshalle ist das Erhitzen des Photoresists keine „Pause“ – es handelt sich vielmehr um eine notwendige Voraussetzung für den weiteren Prozess. Wenn die Heizplatte aus dem Gleichgewicht gerät, beeinträchtigt das auch die Genauigkeit der Temperaturkontrolle. Wenn die Homogenität der Temperaturen nicht gewährleistet ist, führt das zu Problemen bei der Qualität der Wafer. Bei MEMS ist das thermische Gleichgewicht äußerst wichtig – Temperaturschwankungen dürfen nicht zu lange bestehen bleiben.

Was technisch wichtig ist:
Wir haben diesen Infrarotheizer entwickelt, um eine präzise Kontrolle der Temperatur in MEMS-Produkten zu ermöglichen: Kurzwelliges Infrarotlicht sorgt für eine schnelle Reaktion, Quarz-Halogen-Elemente gewährleisten eine stabile Ausgangstemperatur. Das geschlossene Regelungssystem sorgt dafür, dass die Temperatur auf dem Wafer innerhalb von ±0,1°C konstant bleibt. Die Heizzone ist dafür ausgelegt, in Reinräumen der Klasse 1–100 eingesetzt zu werden. Dabei werden Materialien und Oberflächen so gewählt, dass keine Partikel entstehen und keine Gase ausgestoßen werden. Entscheidend ist dabei die Wiederholgenauigkeit – bei jedem Erhitzen, in jeder Charge, jeden Tag.

MEMS on Infrared Quartz Heating Systems

Heizer zum Trocknen von MEMS Sensor Wafern

MEMS Herstellung – Infrarotheizer