玻璃晶圆加工红外灯

在光刻过程中，玻璃晶圆与硅晶圆有着本质上的不同。玻璃晶圆是透明的，热质量较低，而且对温度变化的敏感度极高。一旦高温区域出现哪怕很小的偏移，光刻胶的分布就会受到影响，从而导致CD精度的下降。而专为玻璃加工设计的红外灯则可以精准地将热量传递到所需位置，避免其他部位受到影响。 系统设计的关键点 我们设计...