Trong quá trình xử lý phim quang học, sự biến đổi nhiệt độ trong quá trình nung có thể làm giảm chất lượng sản phẩm. Nếu quá trình nung không diễn ra một cách đồng đều, kích thước các đường nét trên bề mặt wafer sẽ bị thay đổi. Việc nung không ổn định còn gây ra hiện tượng xuất hiện các vết bẩn và chất cặn trên bề mặt wafer. Chúng tôi đã chế tạo ra các tấm sưởi bằng tia hồng ngoại bằng vật liệu gốm để loại bỏ những yếu tố gây biến đổi nhiệt độ này, từ đó mang lại nguồn nhiệt ổn định, không có sự sai lệch so với mức độ nhiệt đã được thiết lập.
Những điểm quan trọng khi sử dụng tấm sưởi này: Tấm sưởi này hoạt động dựa trên nguyên lý bức xạ nhiệt, chứ không phải sự truyền nhiệt thông thường. Các linh kiện tạo ra tia hồng ngoại được bao bọc trong vật liệu gốm. Thời gian cần thiết để đạt đến mức nhiệt mong muốn chỉ khoảng dưới 2 giây. Độ đồng đều của nhiệt độ trên bề mặt wafer đạt mức ±0,1°C. Độ lặp lại của quá trình nung đạt mức ±0,5°C giữa các lần xử lý khác nhau, giúp duy trì độ ổn định nhiệt độ. Bề mặt tấm sưởi được thiết kế sao cho không tạo ra bất kỳ hạt bụi nào, phù hợp với tiêu chuẩn phòng sạch cấp 1–100. Vật liệu chế tạo tấm sưởi cũng có khả năng chịu đựng được các chất tẩy rửa mạnh mà không gây ra hiện tượng thoát khí. Về mặt điện, tấm sưởi này đáp ứng các tiêu chuẩn của thiết bị bán dẫn – ít nhiễu điện từ và có khả năng cách điện tốt.
Tại sao điều này lại quan trọng trong quy trình in ấn bán dẫn: Trong quy trình in ấn bán dẫn, độ chính xác cao trong việc kiểm soát kích thước các chi tiết trên wafer giúp giảm số lần phải làm lại sản phẩm. Quá trình nung ổn định giúp cải thiện độ bám của các chất lên bề mặt wafer, từ đó giảm thiểu hiện tượng xuất hiện các vết bẩn và chất cặn. Tốc độ phản ứng nhanh giúp giảm thời gian chờ đợi giữa các lần nung, từ đó tăng hiệu suất sản xuất mà không làm tăng mức tiêu thụ năng lượng. Tấm sưởi này có thể hoạt động 24/7 với ít bảo trì – không có hiện tượng hỏng linh kiện hay điểm nóng, do đó thời gian ngừng hoạt động do sự cố là bằng không. Là giải pháp thay thế cho các thiết bị sưởi nhập khẩu, tấm sưởi này có thể được lắp đặt dễ dàng vào các thiết bị hiện có, giúp duy trì chất lượng quy trình sản xuất đồng thời giảm chi phí thay thế linh kiện.
Ghi chú khi lắp đặt: Khi lắp đặt, cần đảm bảo rằng kích thước và loại kết nối của tấm sưởi phù hợp với thiết bị. Cần kiểm tra độ chính xác trong việc đối chiếu vị trí lắp đặt, vì điều này giúp đảm bảo độ đồng đều của nhiệt độ. Tấm sưởi hoạt động tốt nhất khi có điện áp ổn định – những biến động lớn về điện áp có thể ảnh hưởng đến độ chính xác của mức nhiệt mong muốn. Do đó, việc sử dụng bộ điều chỉnh điện áp là điều cần thiết. Nên tiến hành kiểm tra ngắn để xác định nhiệt độ trên bề mặt wafer và xác định được công thức xử lý phù hợp.