Чому використання інфрачервоних обігрівачів у вакуумі є безумовно доцільним для напівпровідників
Індустрія прагне до стандартів без використання свинцю та з мінімальним вмістом вуглецю. Це звучить чудово на папері, але насправді створює серйозні проблеми для тих, хто керує обладнанням.
Традиційні конвективні печі? Вони тут не придатні. У вакуумі неможливо рухати повітря, а навіть якби це було можливо, ви б лише розносили забруднювачі по всій поверхні матеріалу. Саме тому ми використовуємо інфрачервоні обігрівачі, сумісні з умовами вакууму. Замість повітря ці системи використовують електромагнітне випромінювання для прямого нагрівання матеріалу. Жодних посередників. Жодного бруду.
Як це функціонує насправді
Коли повітря видаляється, не залишається жодних проблем із конвекцією. Залишається лише випромінювання та провідність тепла.
Ми налаштовуємо ці обігрівачі так, щоб вони випромінювали саме ті довжини хвиль, які фотополімери чи клеї можуть поглинати. Оскільки не потрібно витрачати час на нагрівання приміщення, енергія потрапляє безпосередньо на поверхню матеріалу.
Це дуже швидко. Ми говоримо про скорочення часу висихання з годин до кількох хвилин.
Проблемні аспекти: матеріали та тепло
Не можна просто помістити будь-яку лампу в вакуум. Ми використовуємо кварц високої чистоти чи спеціалізовану кераміку – адже „вивільнення газів“ є серйозною проблемою. Якщо лампа випускає навіть кілька дрібних частинок, ваш матеріал буде зруйнований.
Але потрібно також бути обережним із потужністю. Лампи високої потужності швидко нагрівають, але можуть створювати місцеві точки надмірного нагріву, якщо не стежити за цим. Потрібно знайти правильний баланс між потужністю та тепловою щільністю матеріалу. Якщо це зробити неправильно, силіцій може деформуватися.
Переваги
Використання інфрачервоних обігрівачів дозволяє позбутися методів нагріву на основі розчинників та зменшити енергоспоживання чистих приміщень. Крім того, це найкращий спосіб для створення точних температурних профілів, необхідних для екологічних полімерів та клеїв без галогенів.
Однак є один недолік. Підключення цих обігрівачів до вакуумної камери вимагає спеціальних елементів підключення. Якщо ущільнення не є ідеальними, виникне витік газів, і лампа буде окислюватися та згоряти.
Це компроміс. Ви отримуєте неймовірну швидкість та чистоту, але для цього необхідно, щоб вакуум був бездоганним.