
Інфрачервоне нагрівання проти гарячого повітря: що насправді підходить для обробки пластин?
Якщо ви все ще використовуєте гаряче повітря для обробки напівпровідників, фактично ви просто чекаєте.
Уявіть собі, як це працює: спочатку нагрівається повітря, потім воно нагріває камеру, а через деякий час пластина також нагрівається. Це повільна послідовна реакція. Інфрачервоне нагрівання усуває цей зв’язок – воно використовує електромагнітне випромінювання для передачі енергії безпосередньо на поверхню пластини. Немає необхідності чекати.
Час – це гроші
У великих заводах кожна секунда має значення. З гарячим повітрям доводиться чекати довго, поки матеріал не нагріється, щоб уникнути пошкоджень. Це дратує. Але інфрачервоні лампи дозволяють досягти потрібної температури за кілька секунд.
Замість того, щоб чекати, поки вентилятор розноситиме гаряче повітря, можна безпосередньо подавати фотони на поверхню пластини. Це швидко. Дуже швидко. Це дозволяє скоротити час обробки та обробляти більше пластин за один процес.
Як знайти „ідеальну“ відстань
Неможливо просто розмістити інфрачервону лампу прямо біля пластини – це призведе до проблем. Якщо лампа знаходиться занадто близько, можуть виникнути точки надмірного нагрівання, які можуть пошкодити матеріал. Але якщо лампа знаходиться занадто далеко, то зникає ефективність інфрачервоного нагрівання. Справа у тому, щоб знайти ідеальну відстань, враховуючи кількість ват на квадратний сантиметр.
Які є недоліки
Інфрачервоне нагрівання є швидким способом нагрівання, але має одну особливість – воно є напрямленим. Гаряче повітря нагріває все навколо, а інфрачервоне випромінювання нагріває лише те, що може „бачити“. Тож, якщо пластина має складну форму чи потребує ідеально рівномірного нагрівання з усіх боків, однієї лампи буде недостатньо. Ймовірно, знадобиться кілька ламп чи відбивна камера для розсіювання енергії. Пам’ятайте, що це займає більше простору.
Ще одна порада: необхідно використовувати точний контролер PID. Оскільки передача енергії відбувається дуже швидко, легко перестрілити потрібну температуру, що може зіпсувати весь процес, якщо датчики не реагують в реальному часі.