Havayı ısıtmayı bırakın ve doğrudan parçayı ısıtın.
Eğer hâlâ yarı iletken üretim sürecinizde zorla sıcak hava kullanıyorsanız, muhtemelen aynı sorunlarla karşılaşmışsınızdır. Hava, ısıyı iletmekte oldukça kötüdür. Bu yüzden, substratın ısınmasını beklemek zorunda kalırsınız. Bu arada da fırının tüm hacmini ısıtmak için büyük miktarda enerji harcanır. Bu tam anlamıyla bir israf olur.
Daha iyi bir yöntem var: Oksijensiz kızılötesi ışınlar.
Hava yerine kızılötesi lambalar elektromanyetik radyasyon kullanır. Bu radyasyon doğrudan iş parçasına etki eder. Isının dengelenmesini beklemeye gerek yoktur; böylece çok daha hızlı ısınma sağlanır. Bu, ısı iletiminden radyasyona geçişten ibaret basit bir yöntemdir ve büyük miktarda zaman tasarrufu sağlar.
Ancak standart kızılötesi sistemlerin bir dezavantajı vardır. Genellikle kısa dalga boylu kızılötesi ışınlar, oksijen moleküllerine çarptığında ozon oluşturabilir. Temiz bir ortamda ozon gerçekten büyük bir sorundur; çünkü ekipmanları bozar ve hassas bileşenleri zarara uğratır.
Bunu önlemek için filtrelenmiş vericiler ve özel kuvars karışımları kullanılır. Böylece VUV spektrumu engellenir. Böylece ihtiyacınız olan ısı elde edilir ve süreç temiz kalır. Ayrıca, havayı temizlemek için devasa ve gürültülü egzoz sistemleri kurmanıza da gerek kalmaz.
Ama tabii ki bu “tak ve çalıştır” gibi basit bir çözüm değildir. Yansıtıcıların doğru şekilde ayarlanması gerekiyor. Eğer biraz bile yanlış ayarlanırsa, sıcak noktalar oluşur. Bu durumda waferler bozulabilir veya üretim süreci altüst olabilir.
Ayrıca kızılötesi ışınlar yoğun ve lokalize bir ısı yaymaktadır. Sistemi değiştirmeden önce şasinizi kontrol edin. Kablolarmızın erimesini önlemek için lamba kutusuna soğutma fanları eklemeniz gerekebilir.
Sonuç olarak, üretim kapasitenizi artırmak istiyorsanız bu en iyi çözümdür. Havayla uğraşmayı bırakın ve doğrudan parçayı ısıtın.