Инфракрасное нагревание против горячего воздуха: что действительно эффективно для обработки пластин?
Если вы по-прежнему используете горячий воздух для обработки полупроводников, то, по сути, вы просто тратите время впустую.
Подумайте о том, как это работает: сначала нагревается воздух, затем он нагревает камеру, и только после этого пластина нагревается. Это медленная процедура. Инфракрасное нагревание избавляет нас от необходимости использования воздуха в качестве посредника. Оно использует электромагнитное излучение для передачи энергии непосредственно на поверхность пластины. Никакого ожидания не требуется.
Время – это деньги
На предприятиях с высокой производительностью каждая секунда имеет значение.
С использованием горячего воздуха приходится тратить много времени на нагрев и охлаждение, чтобы избежать повреждения материала. Это раздражает. Но с инфракрасными лампами можно достичь нужной температуры за считанные секунды.
Вместо того чтобы ждать, пока вентилятор будет распространять теплый воздух, мы можем направлять фотоны непосредственно на поверхность пластины. Это очень быстро. Это позволяет сократить время обработки и обрабатывать больше пластин за один раз.
Найдение оптимального решения
Нельзя просто разместить инфракрасную лампу прямо рядом с пластиной. Это приведет к проблемам.
Если лампа слишком близко, возникают места с чрезмерным нагревом, что может повредить материал. Но если лампа слишком далеко, теряется необходимая интенсивность нагрева. Нужно найти оптимальное расстояние, исходя из количества ватт на квадратный сантиметр.
Ограничения, которые следует учитывать
Инфракрасное нагревание – это быстрый способ нагрева, но у него есть один недостаток: он направленный. Горячий воздух обволакивает объект, как одеяло. Инфракрасные лампы нагревают только те участки, которые они могут «увидеть». Поэтому, если у пластины сложная форма или необходимо, чтобы она была равномерно нагрета с всех сторон, одной лампы будет недостаточно. Возможно, потребуется несколько ламп или отражающая камера для распространения энергии. Но помните, что это займет больше места.
Еще один совет: используйте точный контроллер PID. Поскольку передача энергии происходит очень быстро, легко превысить нужную температуру, что может повредить процесс обработки.