Pare de aquecer o ar e comece a aquecer a peça diretamente.
Se você ainda usa ar quente para o processo de cura e secagem em sua linha de semicondutores, provavelmente já percebeu esse problema irritante. O ar é péssimo para transferir calor. Você acaba esperando que o ar aqueça o substrato. Enquanto isso, gasta muita energia só para aquecer todo o volume do forno. É um desperdício.
Existe uma maneira melhor: uso de radiação infravermelha sem ozônio. Em vez de depender do ar, as lâmpadas infravermelhas utilizam radiação eletromagnética. Essa radiação atinge diretamente a peça a ser tratada. Não há necessidade de esperar que o ar se aqueça – o processo é muito mais rápido. É uma simples substituição da condução de calor pela radiação, o que economiza muito tempo.
Mas há um problema com as lâmpadas infravermelhas convencionais: geralmente, elas podem gerar ozônio, devido à forma como suas ondas de luz afetam as moléculas de oxigênio. Em uma sala limpa, o ozônio é um pesadelo – ele danifica os equipamentos e afeta componentes sensíveis.
Para resolver isso, usamos emissores filtrados e misturas específicas de quartzo para bloquear esse espectro de radiação ultravioleta. Assim, você obtém o calor necessário, mas o processo permanece limpo. Além disso, não é preciso instalar sistemas de exaustão enormes e barulhentos para purificar o ar.
Mas, vamos ser realistas: isso não é uma solução “plug and play”. É preciso ajustar corretamente os refletores. Se houver algum erro no ajuste, surgirão pontos quentes. E, nesse tipo de processo, pontos quentes significam wafers danificados ou lotes de produtos estragados.
Além disso, as lâmpadas infravermelhas geram muito calor localizado. Antes de fazer a troca, verifique o chassi da lâmpada. Talvez seja necessário adicionar ventiladores de refrigeração para evitar que os cabos se derretam.
No final das contas, se você quer aumentar a produtividade em sua linha de produção, essa é a solução. Pare de lutar com o ar e comece a aquecer a peça diretamente.