W przypadku płytek szklanych sytuacja jest zupełnie inna niż w przypadku krzemu. Płytki te są przezroczyste, mają mniejszą masę cieplną i są znacznie bardziej wrażliwe na różnice temperatury. Jeśli obszar o wyższej temperaturze zmieni się choć trochę, profil warstwy fotorezystu ulega zmianie, co wpływa na jakość produktu jeszcze przed jego finalną obróbką. Wtedy przydają się lampy podczerwone przeznaczone do obróbki szkła – one dostarczają ciepło dokładnie tam, gdzie jest to potrzebne, a nie gdzie indziej.
Co jest ważne?
Stworzyliśmy ten system na bazie emiterów krótkich fal podczerwonych dostosowanych do właściwości absorpcji szkła. Dzięki temu uzyskujemy szybkie nagrzewanie, z czasem reakcji poniżej sekundy. Na całej powierzchni płytki zachowuje się jednolitość temperatury na poziomie ±0,1°C, co zapewnia stabilność procesu nagrzewania i umożliwia prawidłową obróbkę warstwy fotorezystu. Urządzenie może być używane w pomieszczeniach o czystości klasy 1–100, przy czym na poziomie urządzenia nie powstaje żadnych cząstek. Repeatabilność wynosi około 99%, a wydajność utrzymuje się na stabilnym poziomie przez ponad 5 000 godzin, z spadkiem nieprzekraczającym 5%. Profil termiczny pozostaje stały w każdej partii produktu.
W litografii temperatura musi być stała, a nie wartość przybliżona. Nasze lampy podczerwone redukują straty energii poprzez nagrzewanie tylko samej płytki i jej bezpośredniego otoczenia. Dzięki temu zużycie energii spada, a czas procesu skraca się. Uzyskujemy lepszą jednolitość temperatury, mniej konieczności ponownej obróbki oraz mniej odpadów spowodowanych nadmiernym lub niewystarczającym nagrzewaniem. Szybkie nagrzewanie przyspiesza proces, a czyste, suche ciepło zapobiega pojawieniu się defektów na powierzchni płytki podczas jej pakowania i inspekcji.
Oto kilka praktycznych uwag: instalacja wymaga precyzyjnego ustawienia optycznego oraz dedykowanego źródła zasilania z filtrem, aby uniknąć zakłóceń elektromagnetycznych w sąsiednich urządzeniach. Jeśli chcesz zintegrować to urządzenie z istniejącymi systemami, musisz mieć na oku specjalny element montażowy oraz krótki okres konfiguracji. Po rozgrzaniu lampy należy dać jej chwilę na osiągnięcie ustalonej temperatury ±0,1°C; po tym czasie proces może przebiegać stabilnie. Ponadto należy dopasować spektrum emisji lampy do charakterystyki chemii fotorezystu oraz rodzaju podłoża szklanego – nie chodzi tu o uniwersalne rozwiązanie, a niedopasowanie może prowadzić do problemów.