Berhenti menggunakan udara panas untuk proses pemanasan, dan mulailah menggunakan kaedah pemanasan yang lebih efektif. Jika anda masih menggunakan udara panas untuk proses pengeringan dalam proses pembuatan semikonduktor, anda pasti sudah menyedari masalah yang timbul akibatnya. Udara sebenarnya sangat tidak efektif dalam mengalirkan haba.
Anda perlu menunggu sehingga udara tersebut benar-benar memanaskan permukaan bahan yang akan diproses. Sementara itu, tenaga yang digunakan untuk memanaskan seluruh ruang dalam hab tersebut adalah sia-sia sahaja. Ini merupakan pembaziran tenaga.
Ada cara yang lebih baik: penggunaan sinar inframerah tanpa oksigen. Daripada bergantung pada udara, lampu inframerah menggunakan radiasi elektromagnetik. Radiasi ini akan langsung memanaskan bahan yang akan diproses. Tidak perlu menunggu proses konveksi berlaku, dan masa yang diperlukan untuk memanaskan bahan juga jauh lebih singkat. Ini merupakan perubahan yang mudah dari kaedah konduksi ke kaedah radiasi, dan ia dapat menjimatkan banyak masa.
Namun, ada kelemahan pada penggunaan sinar inframerah biasa. Biasanya, sinar inframerah berfrekuensi rendah boleh menghasilkan oksigen akibat interaksi gelombang dengan molekul oksigen. Dalam bilik bersih, oksigen merupakan masalah besar kerana ia boleh merosakkan alat-alat yang digunakan serta komponen-komponen sensitif.
Untuk mengatasi masalah ini, kita gunakan alat pelepasan cahaya yang telah disaring, serta campuran kuarsa khusus untuk menghalang spektrum vakum ultraviolet. Dengan cara ini, anda boleh mendapatkan haba yang diperlukan, sambil memastikan prosesnya tetap bersih. Selain itu, anda tidak perlu memasang sistem pengudaraan yang besar dan bising untuk membersihkan udara.
Namun, perlu diingat bahawa ini bukanlah penyelesaian yang mudah. Anda perlu memastikan reflektor digunakan dengan betul. Jika terdapat kesilapan sedikit pun, kawasan tertentu akan menjadi terlalu panas. Dalam industri ini, kawasan yang terlalu panas boleh menyebabkan kerusakan pada wafer atau produk yang dihasilkan.
Selain itu, sinar inframerah juga menghasilkan haba yang sangat tinggi di kawasan tertentu. Sebelum menggunakan kaedah ini, pastikan anda memeriksa struktur lampu tersebut. Mungkin anda perlu menambahkan kipas penyejuk pada kotak lampu tersebut agar kabel-kabelnya tidak meleleh.
Pada akhirnya, jika anda ingin meningkatkan kelajuan proses pengeluaran, inilah cara yang harus digunakan. Berhenti menggunakan udara panas, dan gunakan kaedah pemanasan yang lebih efektif.