
Mengapa kita menggantikan penggunaan udara dipaksa dengan teknologi IR di bilik bersih
Dalam proses pemprosesan semikonduktor, segalanya bergantung pada satu perkara sahaja: masa. Lebih tepat lagi, berapa banyak masa yang terbuang dalam proses tersebut. Kebanyakan daripada kita pernah menghadapi masalah seperti menunggu agar bahan tersebut kering atau dipanaskan sepenuhnya. Ini merupakan halangan utama dalam proses pemprosesan semikonduktor.
Masalah menggunakan cara pemanasan udara biasa
Fikirkan tentang ketuhar udara dipaksa biasa. Udara dipanaskan terlebih dahulu, kemudian diharapkan udara tersebut akan memanaskan bahan yang ditreatment. Proses ini sangat lambat. Ada jeda waktu antara pemanasan udara dan pemanasan bahan tersebut. Ini menyebabkan pembaziran masa. Di bilik bersih pula, kita tidak boleh meningkatkan kelajuan kipas secara berlebihan. Jika udara dipaksa terlalu kuat, ia akan menyebabkan zarah-zarah kecil terbang ke udara. Ini akan merosakkan kualiti produk yang dihasilkan. Ia merupakan situasi yang membingungkan.
Cara yang lebih cepat untuk memanaskan bahan
Teknologi IR berbeza. Ia tidak memerlukan penggunaan udara sama sekali. Tenaga dipancarkan terus ke permukaan bahan yang ingin dipanaskan. Proses ini sangat cepat. Tidak perlu menunggu berjam-jam agar bahan tersebut panas. Panas akan sampai ke permukaan bahan sebaik sahaja suis dihidupkan. Waktu yang diperlukan untuk memanaskan bahan telah berkurangan dari jam-jam menjadi beberapa saat sahaja. Ini merupakan kelebihan besar bagi proses pemprosesan semikonduktor.
Selain itu, kerana tiada udara yang ditiup ke merata-rata, persekitaran di bilik bersih tetap tenang. Kurangnya kipas bermakna kurang zarah-zarah kecil yang jatuh ke atas wafer tersebut. Ini menjadikan suasana di bilik bersih lebih bersih.
Satu lagi kelebihan ialah kita boleh mengarahkan pancaran haba ke tempat yang diinginkan. Jika bahagian tengah bahan memerlukan lebih banyak haba berbanding bahagian tepinya, kita boleh mengalihkan lampu atau menyesuaikan kuasa pancaran haba tersebut. Teknologi udara dipaksa pula tidak dapat mengarahkan haba secara tepat. IR membolehkan kita mengawal proses pemanasan dengan lebih tepat.
Kelemahan teknologi IR
Namun, IR bukanlah penyelesaian yang sempurna untuk segala masalah. Ia hanya berfungsi jika lampu tersebut dapat “melihat” bahan yang ingin dipanaskan. Jika bahan tersebut disusun bertindih atau berbentuk rumit, akan timbul bayang-bayang. Beberapa bahagian akan tetap sejuk sementara bahagian lain akan panas. Kita perlu bijak memilih kedudukan lampu atau menggunakan reflektor untuk mengarahkan haba ke bahagian yang memerlukan panas.
Selain itu, kerana IR sangat berkuasa dan cepat, kita perlu berhati-hati dengan pengawal suhu yang digunakan. Jika sensor tidak memberi respons dengan cepat, suhu bahan mungkin melebihi had yang ditetapkan. Dalam industri ini, ini bermakna bahan yang mahal akan rosak.