Riduzione delle emissioni di carbonio nelle fabbriche di semiconduttori grazie a lampade a tubo doppio rivestite d’oro
Se si vuole ridurre l’impronta di carbonio nella produzione di semiconduttori, bisogna partire dal problema legato al calore. È proprio qui che si spreca la maggior parte dell’energia utilizzata.
Ecco perché utilizziamo lampade a raggi infrarossi a tubo doppio rivestite d’oro. Non si tratta di semplici scaldatori: sono piuttosto strumenti precisi in grado di dirigere l’energia direttamente sul substrato. In questo modo non si perde tempo e energia a riscaldare l’intera camera, pur di portare il wafer alla temperatura desiderata.
Perché l’oro?
I tubi di quarzo tradizionali hanno delle perdite di energia: una grande quantità di energia viene dispersa nell’aria circostante. Aggiungendo uno strato sottile d’oro sui tubi, possiamo cambiare il modo in cui il calore viene distribuito. L’oro riflette i raggi infrarossi verso il bersaglio desiderato, concentrando così il flusso termico. Il risultato è un profilo termico più preciso e tempi di riscaldamento molto più rapidi. Quando la lampada raggiunge rapidamente la temperatura desiderata, si riduce il consumo di energia per ogni wafer prodotto. È quindi un modo semplice per creare una “fabbrica verde”, evitando così lo spreco di energia.
Il sistema a tubo doppio
La struttura a tubo doppio è particolarmente efficace: permette di raddoppiare la superficie di riscaldamento senza occupare più spazio. In questo modo è possibile utilizzare una maggiore potenza senza esporre i filamenti al rischio di rottura. È ideale per processi termici rapidi, dove è necessaria una elevata densità di potenza. Tuttavia, bisogna fare attenzione: quando si concentra tanta potenza in uno spazio ridotto, i sistemi di raffreddamento devono essere perfetti. Se il flusso d’aria non è sufficiente, le lampade possono danneggiarsi. È un compromesso, ma facilmente gestibile se le specifiche tecniche sono corrette.
Un modo per proteggere il pianeta
Sostituire gli scaldatori tradizionali con sistemi a raggi infrarossi rivestiti d’oro è senz’altro una soluzione efficace. È possibile collegare queste lampade a controllori localizzati, in modo da riscaldare esattamente dove è necessario. In questo modo si elimina lo spreco energetico. Riducendo i tempi di processo e l’energia necessaria, si abbassa l’intensità di emissione di carbonio. Si possono così raggiungere obiettivi di neutralità carbonica senza ridurre la produttività. È davvero una soluzione vincente.