Mengeringkan Wafer MEMS dengan Menggunakan Sinar Infra Merah yang Tepat
Jika Anda sedang membangun pabrik berteknologi canggih, Anda pasti tahu bahwa segala sesuatu perlu dikendalikan berdasarkan data. Namun, dalam proses pengeringan wafer sensor MEMS, perangkat keras sama pentingnya dengan perangkat lunak. Itulah sebabnya kami beralih dari oven konvensional ke sistem inframerah berfrekuensi tinggi.
Cara ini lebih cepat, dan juga mencegah masuknya bahan kimia yang dapat merusak wafer tersebut.
Mengelola Panas
Hal yang sulit dalam proses pengeringan MEMS adalah bagaimana menghilangkan kelembapan secara cepat tanpa merusak wafer. Anda tidak bisa sekadar menggunakan panas yang tinggi sembarangan.
Kami menggunakan lampu kuarsa berdaya tinggi agar panasnya tepat berada di tempat yang diperlukan. Dengan menyesuaikan tegangan dan frekuensi, Anda dapat mengubah intensitas panasnya secara dinamis. Baik itu wafer yang tipis maupun bentuk sensor yang unik, sistem ini akan tetap berfungsi dengan baik.
Karena waktu responsnya hampir instan, PLC dapat mengatur intensitas panas berdasarkan umpan balik real-time. Inilah cara yang tepat untuk mengoperasikan pabrik berteknologi digital.
Detail Perangkat Keras
Kami menggunakan kemasan kuarsa berkualitas tinggi untuk komponen pemanas. Mengapa? Karena hal terakhir yang diinginkan adalah terjadinya pelepasan gas di dekat wafer.
Lampu-lampu ini disusun dalam array sehingga panasnya dapat merata ke seluruh permukaan wafer. Kami juga menggunakan koneksi khusus. Percayalah, Anda tentu tidak ingin komponen-komponen tersebut bergetar saat mesin beroperasi.
Namun, ada masalahnya: sinar inframerah berintensitas tinggi dapat menyebabkan panas yang berlebihan. Wafer akan kering dengan cepat, tetapi bagian chasis di sekitarnya akan rusak. Anda perlu memastikan bahwa sistem pendinginan dan kipas pengeluaran udara berfungsi dengan baik, agar elektronik kontrol tidak rusak.
Membuat Proses Pengeringan Lebih “Cerdas”
Di pabrik berteknologi digital, setiap komponen perlu memberikan informasi tentang kondisinya. Sistem inframerah kami terhubung langsung ke sistem SCADA Anda. Anda dapat melihat kapan suatu lampu mulai aus, atau seberapa banyak energi yang digunakan oleh setiap wafer. Dengan demikian, Anda tidak perlu mengikuti jadwal pemeliharaan yang kaku, melainkan memperbaiki komponen ketika memang diperlukan.
Ketika suatu lampu mulai bermasalah, sistem akan memberi peringatan. Anda dapat mengganti komponen tersebut sebelum produktivitas menurun. Itulah keuntungan dari sistem yang didorong oleh data.