Mengapa kita mengganti sistem pemanasan udara biasa dengan IR di ruang bersih
Dalam proses pengolahan semikonduktor, segalanya sebenarnya tergantung pada satu hal saja: waktu. Lebih tepatnya, berapa banyak waktu yang terbuang sia-sia. Kebanyakan dari kita pernah menghadapi situasi di mana kita harus menunggu peralatan selesai memproses bahan tersebut. Itulah titik kesulitan utamanya.
Masalah dengan pemanasan udara
Coba bayangkan oven berbasis udara biasa. Udara dipanaskan terlebih dahulu, lalu diharapkan udara tersebut dapat memanaskan bahan yang akan diproses. Proses ini sangat lambat. Ada “inersia termal” yang menyebabkan proses pemanasan berlangsung lebih lama lagi. Di ruang bersih, kita tidak bisa memaksimalkan kecepatan kipas angin. Jika udara dipaksa untuk bergerak terlalu cepat, maka partikel-partikel kecil akan muncul. Dengan demikian, kita tidak hanya perlu menunggu, tetapi juga berisiko kehilangan hasil produksi yang berkualitas. Ini merupakan trade-off yang menyebalkan.
Cara yang lebih cepat
Pemanasan menggunakan IR berbeda. Sistem ini tidak membutuhkan udara sama sekali. Energi langsung dikirim ke permukaan bahan yang akan diproses. Proses pemanasan berlangsung secara instan. Anda tidak perlu menunggu berjam-jam agar ruangan menjadi hangat. Panas akan langsung mencapai target begitu saklar dinyalakan. Waktu pemanasan bisa berkurang dari jam-jam menjadi beberapa detik saja. Itu merupakan keuntungan besar bagi proses produksi Anda.
Selain itu, karena tidak ada udara yang bergerak, lingkungan tetap tenang dan damai. Jarangnya kipas angin berarti sedikit sekali partikel yang jatuh ke permukaan wafer. Lingkungan pun menjadi lebih bersih.
Keuntungan lainnya adalah kita dapat mengarahkan panas ke bagian tertentu dari bahan yang akan diproses. Jika bagian tengah bahan membutuhkan panas lebih banyak daripada bagian tepinya, kita cukup menggeser posisi lampu atau menyesuaikan intensitas panasnya. Pemanasan udara biasa tidak dapat melakukan hal ini; panasnya merata ke seluruh permukaan bahan. IR memungkinkan kita untuk memanaskan bahan secara lebih precisi.
Kekurangannya
IR bukanlah solusi sempurna untuk segala masalah. Sistem ini hanya efektif jika lampu dapat “melihat” permukaan bahan yang akan diproses. Jika bahan tersebut disusun bertumpuk atau memiliki bentuk yang rumit, maka akan muncul bayangan-bayangan di beberapa bagian. Beberapa bagian akan tetap dingin sementara bagian lainnya menjadi panas. Kita perlu sangat hati-hati dalam menentukan posisi lampu atau menggunakan reflektor untuk mengarahkan panas ke bagian-bagian yang sulit dicapai.
Selain itu, karena IR sangat kuat dan cepat, kita perlu berhati-hati menggunakan kontrolernya. Jika sensor tidak bereaksi dengan cepat, suhu yang dihasilkan bisa melebihi batas yang ditargetkan. Dan dalam bisnis ini, melebihi batas suhu berarti bahan tersebut akan rusak.