گرم کردن ویفرها در شرایط پرخطر
بیایید صادق باشیم: قرار دادن یک عنصر گرمایشی در فضایی پر از بخارات شیمیایی قابل اشتعال، کاری بسیار خطرناک است. حتی یک جرقه کوچک یا نقطهای که دمای آن بالا رود، میتواند منجر به خرابی دستگاه شود؛ در واقع، یک فاجعه رخ خواهد داد.
به همین دلیل، ما لامپهای مایکروویو را به شکل متفاوتی طراحی میکنیم.
جلوگیری از ورود مواد خطرناک
بزرگترین نگرانی، معمولاً مربوط به تماسات الکتریکی است. اگر گازهای قابل اشتعال وارد این ناحیه شوند، مشکلاتی پیش خواهد آمد.
ما از فومهای معمولی برای جلوگیری از ورود گازها استفاده نمیکنیم؛ در عوض، از روشهای تخصصی برای ساخت سرپوشهای مقاوم در برابر گرما استفاده میکنیم. این روش، مانع واقعی برای ورود گازها ایجاد میکند.
این روش دو کار مهم انجام میدهد: اولاً، جلوگیری از تخریب رشتههای تنگستنی توسط مواد حلکننده؛ دوماً، جلوگیری از اشتعال بخارات خارجی در نقاط اتصال سیمها. این کار، آرامش ذهنی را فراهم میکند.
مدیریت گرما (بدون استرس)
امنیت فقط مربوط به سرپوشهای محافظ نیست؛ بلکه مربوط به نحوه انتقال گرما نیز هست.
ما از فرستندههای مایکروویو با طول موج کوتاه استفاده میکنیم؛ زیرا این فرستندهها، گرما را به سرعت به سطح ویفر منتقل میکنند. هرچه انرژی سریعتر وارد شود، هوای اطراف کمتر میتواند گرما را جذب کند. همچنین، ضخامت کوارتز را نیز افزایش دادهایم تا لامپها در هنگام تغییر سریع دما، خراب نشوند.
یک نکته مهم: اگر سعی کنید توان لامپ را افزایش دهید، لوله کوارتز بسیار گرم خواهد شد… واقعاً بسیار گرم!
اگر محفظه لامپ به خوبی تهویه نشود، گرما درون محفظه جمع خواهد شد. برای کنترل این وضعیت، پیشنهاد میکنیم از کنترلکننده PID استفاده کنید؛ این کنترلکننده، از افزایش بیش از حد دما جلوگیری کرده و همه چیز را در حالت پایدار نگه میدارد.
راهاندازی لامپها
ما این لامپها را به گونهای طراحی کردهایم که تعویض آنها آسان باشد. هیچ کس نمیخواهد کل آخر هفته را صرف تعمیر سیستم کند.
سیمها از طریق لولههای مقاوم در برابر انفجار عبور میکنند؛ بنابراین، اگر مشکلی در سیستم الکتریکی پیش بیاید، مشکل در همان ناحیه محصور خواهد ماند. هنگام اتصال لامپ، مطمئن شوید که اتصالات به درستی انجام شدهاند؛ نمیخواهید هیچ جرقهای رخ دهد.
اگر از مدارهای مایکروویو استاندارد استفاده میکنید، این لامپها میتوانند به راحتی جایگزین آنها شوند. فقط مطمئن شوید که حسگرهای ایمنی شما، بر روی طول موج مشخصی تنظیم شدهاند؛ در این صورت، همه چیز درست خواهد بود.