Reducción de las emisiones de carbono en la fabricación de semiconductores, mediante lámparas de tubo doble recubiertas de oro
Si deseas reducir tu huella de carbono en la fabricación de semiconductores, debes comenzar por controlar el calor. Generalmente, es allí donde se desperdicia la mayor cantidad de energía.
Por eso utilizamos lámparas de infrarrojos de tubo doble recubiertas de oro. No se trata de calefactores comunes; más bien, son herramientas precisas que dirigen la energía directamente hacia el sustrato. De esta manera, no se desperdicia tiempo ni energía calentando toda la cámara para llegar a la temperatura adecuada del wafer.
¿Por qué el oro?
Los tubos de cuarzo convencionales son propensos a perder energía en el aire circundante. Al añadir un fino recubrimiento de oro a los tubos doble, cambiamos la forma en que se distribuye el calor. El oro refleja esa radiación infrarroja hacia el objetivo, concentrando así el flujo de calor. El resultado es un perfil térmico más preciso y tiempos de calentamiento mucho más rápidos. Cuando la lámpara alcanza la temperatura deseada más rápido, disminuyen los kilovatios-hora necesarios por wafer. Es una forma sencilla de crear una “fábrica ecológica”, ya que se evita desperdiciar energía.
El diseño de tubo doble
El diseño de tubo doble es ingenioso, ya que duplica la superficie de calentamiento sin ocupar más espacio. Esto permite utilizar más potencia sin que los filamentos se dañen. Es ideal para procesos térmicos rápidos, donde se necesita una alta densidad de potencia. Pero hay que tener cuidado: cuando se concentra tanta potencia en un espacio pequeño, los sistemas de enfriamiento deben funcionar perfectamente. Si el flujo de aire es insuficiente, los extremos de la lámpara se dañarán. Es un compromiso, pero fácil de manejar si las especificaciones son correctas.
Beneficios para el planeta
Sustituir los calefactores convencionales por sistemas de infrarrojos recubiertos de oro tiene sentido. Se pueden conectar estas lámparas a controladores que permiten aplicar calor solo donde es necesario. Así, no hay sobreprocesamiento. Al reducir el tiempo de procesamiento y la energía consumida, la intensidad de carbono de toda la línea de producción disminuye. De este modo, se pueden alcanzar objetivos de neutralidad climática sin reducir la eficiencia de producción. Es una solución ganar-ganar.