Warum wir jedes einzelne Teil testen – und warum das für Sie wichtig ist
Wenn man Heizelemente für Waferwerkzeuge herstellt, gibt es keine „kleinen“ Fehler. Ein winziger elektrischer Leckstrom reicht bereits aus, um ganze Chargen Siliziums zu verschwenden.
In diesem Bereich ist das Testen einiger Stücke, um herauszufinden, ob sie funktionieren, ein Risiko, das wir nicht eingehen wollen. Deshalb unterliegt jedes Lampen- und Sensorelement, das unser Werk verlässt, einer 100-prozentigen Überprüfung hinsichtlich der Spannungsfestigkeit sowie der Isolierwiderstandsfähigkeit. Es gibt keine Ausnahmen.
Die Realität von Hitze und Belastung
Hochleistungsheizlampen müssen ständigen thermischen Schwankungen standhalten – sie dehnen sich immer wieder aus und ziehen sich zusammen. Auf Dauer kann diese Belastung zu Mikrorissen im Quarz oder zu einem Verschleiß der Isolierschicht an den Stellen führen, an denen die Elektroden miteinander verbunden sind.
Fällt diese Isolierschicht zusammen, fließt Strom direkt in das Gehäuse des Werkzeugs. Um das zu verhindern, bringen wir jedes Gerät bis an seine absolute Spannungsbegrenzung. Wir suchen nicht nach „gut genug“ – wir suchen nach jedem noch so kleinen Leckstrom, der eigentlich nicht vorhanden sein sollte.
Mehr als nur eine oberflächliche Prüfung
Eine Lampe mag zwar einen schnellen Spannungstest bestehen, doch ihre Isolierschicht könnte bereits beginnen, zu schädigen. Hier kommt der Isolierwiderstand ins Spiel. Wir messen den tatsächlichen Widerstand zwischen dem leitenden Draht und dem geerdeten Gehäuse. Das ist die einzige Möglichkeit, verborgene Schadstellen oder Herstellungsfehler festzustellen – Fehler, die sonst bereits bei Erreichen der Betriebstemperatur zu Kurzschlüssen führen würden.
Der Kompromiss
Ehrlich gesagt: Jedes Gerät durch einen Hipot-Tester zu prüfen, verlangsamt unseren Arbeitsablauf. Dadurch wird der Qualitätskontrollprozess länger – und die Produktion wird langsamer.
Doch die Kosten eines Fehlers im Feld sind einfach zu hoch. Man kann es sich nicht leisten, dass ein Werkzeug mitten im Prozess versagt. Das wäre ein Albtraum.
Deshalb setzen wir unsere Testbedingungen auf ein Niveau, das sogar härter ist als die Bedingungen, unter denen das Teil tatsächlich arbeiten muss. Wenn das Teil schließlich verbaut wird, hat es bereits einen noch härteren Belastungstest hinter sich als alles, was es in Ihrer Maschine erleben wird.
Falls es Schwachstellen gibt, finden wir diese hier – nicht in Ihrem Reinraum.