V praxi není odchylka teploty nějakým akademickým problémem – jedná se o problém, který ovlivňuje kvalitu výroby. Pokud během zahřívání dojde k...

V provozu na výrobě stačí odchylka o 0,5 °C během zahřívání fotorezistorů k tomu, aby se kritické rozměry změnily o několik nanometrů. Jeden špatný...

Na výrobní lince si nelze dovolit odchylky. Posun o 0,3°C v procesu pečení fotoresistu znamená vyčerpání rozpočtu kritických rozměrů. Výtěžnost klesá...