V případě skleněných destiček se jedná o zcela jiný materiál než u křemíku. Jsou průhledné, mají menší tepelnou hmotnost a jsou mnohem citlivější na jakýkoliv teplotní gradient. Pokud se horká oblast pohnе i jen trochu, začne se profil fotoresistu měnit, kontrola rozměrů se zhorší a výsledná kvalita produktů klesne ještě předtím, než budete moci celou série sledovat. Právě zde přicházejí na pomoc infračervené lampy určené k zpracování skla – umisťují teplo přesně tam, kde je potřeba, a nikde jinde.
Co je důležité Systém jsme navrhli tak, aby využíval krátkovlnné infračervené zářivky nastavené na absorpci sklem. Díky tomu dochází k rychlému ohřevu s reakcí během několika sekund. Na povrchu destičky zůstává rovnoměrnost teploty na úrovni ±0,1 °C, což stabilizuje proces ohřevu a zajišťuje konzistentní výsledky. Přístroj funguje v prostorách s úrovní čistoty 1–100, přičemž na úrovni samotného přístroje není žádná generace částic. Výstupní hodnoty zůstávají stabilní po dobu více než 5 000 hodin, s poklesem nižším než 5 %. Tepelný profil zůstává stejný u každé série.
V litografii musí být teplota konstantní, ne náhodná. Naše infračervené lampy snižují plýtvání energií tím, že ohřívají pouze destičku a její okolí. Díky tomu klesá spotřeba energie a proces se stává efektivnějším. Výsledkem je lepší rovnoměrnost rozměrů, méně oprav a méně odpadu způsobeného nadměrným nebo nedostatečným ohřevem. Rychlý nárůst teploty zkracuje dobu procesu. Čisté a suché teplo zabraňuje vzniku vad na povrchu destičky později, během balení a kontroly.
Zde jsou několik praktických poznámek. Instalace vyžaduje přesnou optickou zarovnání a speciální napájení s filtrací, aby nedošlo k rušení ostatních částí systému. Pokud chcete přístroj integrovat do stávajících zařízení, očekávejte speciální držák a krátké období na překonání počátečních problémů. Po nahřátí lampy dejte jí chvíli na ustálení teploty na úrovni ±0,1 °C. Jakmile se teplota ustálí, proces bude probíhat stabilně. Je také důležité sladit spektrum zářivky s chemickým složením fotoresistu a skleněného substrátu – nejde o univerzální řešení, a pokud to neuděláte, může dojít k chybám.