في عملية معالجة الزجاج، فإن رقائق الزجاج تختلف تمامًا عن رقائق السيليكون. فهي شفافة، وتحتوي على كتلة حرارية أقل، كما أنها أكثر حساسية لأي تغير في درجة الحرارة. إذا تغيرت درجة الحرارة في المنطقة الساخنة قليلاً، فإن شكل طبقة الفوتوريزيست يتغير، ويصبح من الصعب التحكم في دقة التصنيع، وبالتالي يقل معدل الإنتاج. هنا تأتي أهمية المصابيح الأشعة تحت الحمراء المخصصة لمعالجة الزجاج؛ فهي توجه الحرارة إلى المكان المطلوب فقط، وليس إلى أي مكان آخر.
ما هو مهم في العملية؟ لقد صممنا النظام باستخدام مصادر ضوئية من نوع NIR ذات موجات قصيرة، مُعدة خصيصًا لامتصاص الضوء بواسطة الزجاج، وذلك لتحقيق تسخين سريع وموحد خلال فترة زمنية قصيرة جدًا. يتم الحفاظ على توحيد درجة الحرارة على سطح الرقاقة عند مستوى ±0.1 درجة مئوية، مما يساعد على استقرار عملية التسخين وتحقيق تدفق موحد لطبقة الفوتوريزيست. يمكن استخدام هذا الجهاز في غرف نظيفة من الفئة 1–100، ويتم التأكد من عدم وجود أي جسيمات في الجهاز، مما يضمن استمرارية العملية بشكل موثوق. يظل المخرجات مستقرة لأكثر من 5,000 ساعة، مع انخفاض في الأداء لا يتجاوز 5%، كما أن الخصائص الحرارية تظل مستقرة من دفعة إلى أخرى.
في عملية الطباعة الضوئية، يجب أن تكون درجة الحرارة ثابتة، وليست متغيرة. تساعد المصابيح الأشعة تحت الحمراء في تقليل الهدر الحراري، من خلال تسخين الرقاقة والمنطقة المحيطة بها فقط، مما يقلل من استهلاك الطاقة ويساعد في تحسين دقة التصنيع. كما أن ذلك يقلل من عدد عمليات إعادة المعالجة، ويقلل من النفايات الناتجة عن التسخين الزائد أو الناقص. كما أن الاستجابة السريعة تقلل من وقت العملية، والحرارة النظيفة والجافة تمنع ظهور عيوب على سطح الرقاقة في مراحل التغليف والفحص.
هنا بعض الملاحظات العملية: يتطلب التركيب توافقًا دقيقًا في الإضاءة، بالإضافة إلى إمداد طاقة مخصص ومُفلتر، لتجنب التأثيرات السلبية على المراحل المجاورة. إذا كنت تريد دمج الجهاز في الأنظمة القديمة، فستحتاج إلى حامل خاص وفترة قصيرة لإعادة التكوين. بعد أن يسخن الجهاز، يجب الانتظار لفترة قصيرة حتى تصل درجة الحرارة إلى المستوى المطلوب، وبمجرد أن تستقر الحرارة، تظل العملية مستقرة. كما يجب مطابقة طيف الإشعاع مع خصائص الفوتوريزيست والرقاقة الزجاجية المستخدمة؛ فهذه العملية ليست عملية جامدة، ومن السهل حدوث أخطاء إذا لم يتم ذلك.